半導体の製造と薬液管理に ディスペンスポンプ総合カタログ
半導体関連の製造装置開発に！ コーティング、エッチング、パルス送液、薬液管理や滴定、廃液管理で精密送液を実現するシリンジポンプ
ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～ 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分 （0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位： 17nl/分～ （0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- Company：テカンジャパン
- Price：100,000 yen-500,000 yen
